美光(MicronTechnology)半導體設備空氣隔振器調壓閥的工作原理及基本性能

美光半導體設備空氣隔振器調壓閥有多種多樣結構類型。過去常見的有膈膜式、內彈簧活塞機等。調壓閥的基礎原理是根據閥內過流道對流水的部分摩擦阻力來減少壓力。

一、空氣隔振器調壓閥的原理：

當調壓閥導出工作壓力高或規(guī)格大，選用變壓彈簧立即調整工作壓力時，彈簧彎曲剛度務必太大。當流量轉變時，導出工作壓力起伏特別大，閘閥的結構規(guī)格也會提高。為了方便處理，能夠應用先導式減壓閥。先導式減壓閥的基本原理與直移動式基本一致。先導式減壓閥運用的變壓氣體由中小型直移動式調壓閥供貨。假如將中小型直移動式調壓閥安裝于閥身體中，則稱作內部構造調壓閥；假如中小型直移動式調壓閥安裝在主閥體外界，則稱作外調壓閥。

設定器是一種空氣隔振器調壓閥，適用于工作壓力設定?，F階段壓力表有二種：空氣隔振器氣動閥門工作壓力分別是0.14MPa和0.35MPa，導出工作壓力范圍各自為0-0.1MPa和0-0.25MPa。

它由三部份組成：1是直移動式調壓閥的關鍵關閉一部分；2是恒壓降設備，相當于一定的空氣壓力調壓閥。關鍵功能是使噴嘴獲得穩(wěn)定的氣流；3為噴嘴擋板設備及變壓一部分，起變壓和工作壓力增大作用，運用其變大的標準氣壓操縱主閥一部分。

由于穩(wěn)壓電源具有設定、比較、放大功能，穩(wěn)壓管高精度。